Kristalle unter der Lupe – Charakterisierung kristalliner Metall- und Metalloxidschichten mittels Röntgenstreuung

In dieser Arbeit wurde eine Probe aus kristallinen Metall- und Metalloxidschichten mit verschiedenen Messverfahren der Röntgenstrukturanalyse untersucht. Dazu wurde die benötigte Theorie hergeleitet, eine Messung durchgeführt und deren Daten mittels selbst entwickelter Software ausgewertet. Dadurch konnten die Dicken und Rauheiten der Schichten sowie die exakte Verteilung der Atome angegeben werden.